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光刻气体项目可行性研究报告-光刻机重要耗材（年新版）
光刻气体是光刻工艺所需重要材料，主要成分为氖气等气体产品光刻气体作用：光刻过程中需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。
光刻气体组分：氖气为用量占比最大的原料。主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。
光刻气体价格位于近三年底部，下游集成电路需求有望企稳回升光刻气体当前价格处于年以来的底部。根据特气头条数据，年9月14日，氪气出厂价为元/立方，氙气出厂价为6.3万元/立方，氖气出厂价为元/立方。
光刻气体需求有望企稳回升，构成对价格的支撑。年7月，全球半导体销售额同比下降11.8%，跌幅持续收窄。在自主可控、国产替代要求下，预计十四五期间我国集成电路产量仍将维持较快增长，看好电子特气的成长机会。
华特气体、凯美特气是国内已经取得ASML认证的两家光刻气供应商根据公告，华特气体光刻气通过了ASML和GIGAPHOTON的认证。公司已实现对国内8寸以上集成电路制造厂商超过90%的客户覆盖率。
根据公告，年2月，凯美特气光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证，有利于提高在光刻气领域内的认可度和知名度。
持续看好工业气体行业投资机会，海外可比公司达万亿元人民币市值
1）中国工业气体行业近亿元市场，过去5年复合增速11%，有望诞生大市值公司。
2）海外可比公司林德、法液空、空气化工产品对应的市值折合人民币达数千亿乃至上万亿市值。
3）国产替代提速，龙头份额提升。在年第三方现场制气项目新增订单中，外资企业的份额降低至25%，而内资企业占比提升至75%。
4）国内电子特气市场以外资为主导，年外资企业在国内电子特气占据85%市场份额，国产替代趋势明显、潜力巨大。
项目可行性研究报告（年5月1日新版）编制大纲
第一章概论
1.1项目概况
1.2项目单位概况
1.3编制依据
1.4主要结论和建议
第二章项目建设背景及必要性
2.1项目建设背景
2.2规划政策符合性
2.3建设必要性
第三章项目需求分析与产出方案
3.1需求分析
3.2建设内容和规模
3.3项目产出方案
第四章项目选址与要素保障
4.1项目选址
4.2项目建设条件
4.3要素保障分析
第五章建设方案
5.1工程方案
5.2建设管理方案
第六章项目运营方案
6.1运营模式选择
6.2运营组织方案
6.3安全保障方案
6.4绩效管理方案
第七章环境保护
7.1执行依据
7.2建设期环境影响分析及环保措施
7.3运营期污染防治及处理措施
7.4水土保持措施
7.5特殊环境影响分析
7.6结论
7.7建议
第八章节能分析
8.1编制依据
8.2节能原则
8.3项目能源消耗的种类
8.4节能措施
第九章项目投资估算与资金筹措
9.1投资估算
9.2资金筹措
第十章项目影响效果分析
10.1社会影响分析
10.2不同利益群体对项目的态度与参与程度
11.3生态环境影响分析
11.4资源和能源利用效果分析
11.5碳达峰碳中和分析
第十一章项目风险管控方案
11.1风险识别与评价
11.2风险程度分析
11.3风险管控方案
第十二章社会稳定性风险分析
12.1风险及其评价
12.2风险的综合评价
12.3社会稳定风险防范措施
12.4维护社会稳定工作方案
12.5结论
第十三章研究结论及建议
13.1主要研究结论
13.2问题与建议
